硅烷法（关于硅烷法介绍）

大家好,小钱来为大家讲解以上的问题。硅烷法，关于硅烷法介绍这个很多人还不知道,我们一起来看看！

1、 硅烷法：就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。

2、 硅烷有多种制法，主流的*产工艺有：硅镁合金法工艺（Komatsu 硅化镁法）；氯硅烷歧化工艺（Union Carbide 歧化法）；金属氢化物工艺（MEMC公司发明的新硅烷法）三种。

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